MAS6直写光刻机设备是专门面向IC载板（FC-BGA基板、FC-CSP基板）领域量产L/S：10/10μm节点的客户需求进行开发。采用DMD直接成像技术，配合合理的光路设计，使得解析精度可至6/6μm；采用高精度的精密位移平台系统，配合高精度的环境温度控制，使得对位精度达到5μm。同时每个光路均配备主动聚焦模块，使得曝光过程中光路跟随基板的高度起伏，始终工作在最佳焦面，保证精密解析的生产良率。设备内部运动拖链均采用无尘拖链，保证长时间的使用不产尘、掉屑，进一步保证良率。

芯碁微装自成立以来，一直坚持“光刻改变世界”的企业使命，为客户提供优质的设备产品及服务，为行业提供先进技术与人才。七年来，累计超过700台的发货量更是印证了芯碁微装过硬的产品质量和优质的服务。未来，芯碁微装将牢牢把握机遇，以客户为中心，一步一个脚印，实现“IC装备 世界品牌”的企业愿景。